等離子清洗機也叫等離子清潔機,或者等離子表面處理儀,是一種全新的高科技技術,利用等離子體來達到常規清洗方法無法達到的效果。等離子體是物質的一種狀態,也叫做物質的第四態,并不屬于常見的固液氣三態。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態。等離子體的"活性"組分包括:離子、電子、原子、活性基團、激發態的核素(亞穩態)、光子等。等離子清潔機就是通過利用這些活性組分的性質來處理樣品表面,從而實現清潔、涂覆等目的。
根據用途的不同,可選用多種構造的等離子清洗設備,并可通過選用不用種類的氣體,調整裝置的基本結構大致是相同的,一般裝置可由真空室、真空泵、高頻電源、點擊、氣體導入系統、工作傳送系統和控制系統等部分組成。通常使用的真空泵是旋轉油泵,高頻電源通常用13.56MHz的無線電波,等離子清洗機的運行過程如下:
(1)被清洗的工件送入真空室并加以固定,啟動運行裝置,開始排氣,使真空室的真空程度達到10Pa左右的標準真空度。一般排氣時間大約需要2min。
(2)向真空室引入等離子清洗用的氣體,并使其壓力保持在100pa。根據清洗材質的不用,可分別選用氧氣、氫氣、或氮氣等氣體。
(3)在真空室內的電極與接地裝置之間施加高頻電壓,使氣體被擊穿,并通過輝光放電而發生離子化和產生等離子體。讓在真空室產生的等離子體*籠罩在被處理工件,開始清洗作業。一般清洗處理持續幾十秒到幾分鐘。
(4)清洗完畢后切斷高頻電壓,并將氣體及汽化的污垢排出,同時向真空室內鼓入氣體,并使氣壓升至一個大氣壓。